Описание
Высокоточный двусторонний станок для шлифования кремниевых пластин, модель XL7K
Технические параметры:
|
Размер шлифовального круга (мм) |
1000 × 350 × 50 |
|
Макс. диаметр обрабатываемой детали (мм) |
380 |
|
Макс. высота обрабатываемой детали (мм) |
100 |
|
Мощность шпинделя / двигателя опускания (кВт) |
9,2 / 9,2 / 3 (всего 21,4 кВт) |
|
Скорость шпинделя (об/мин) |
5–105 |
|
Скорость внутреннего шпинделя (об/мин) |
5–65 |
|
Рабочее давление воздуха (МПа) |
600 |
|
Количество шлифовальных сегментов (шт.) |
6 |
|
Габаритные размеры (мм) |
2290 × 2340 × 2600 |
|
Вес (кг) |
5000 |
|
Система управления |
ПЛК-интеллектуальная система, электронное одноосевое автоматическое управление |
|
Метод измерения |
Японский измерительный зонд Toshiba |
|
Точность обработки (мм) |
0,001 |
|
Точность измерения (мм) |
0,001 |
|
Источник света (Ra) |
0,1–1,8 |
Особенности:
Стабильная операционная система / Полностью закрытый шлифовальный круг / Высокоточное шлифовальное решение
Станок имеет полностью закрытый корпус, включающий полный комплект прецизионной шлифовальной системы, ПЛК и других систем управления, а также сильные технологические возможности. Вертикальные и горизонтальные перемещения осуществляются серводвигателями, а рабочий стол оснащён полностью замкнутой системой управления с высокой точностью, высокой жёсткостью и высокой стабильностью. Станок оснащён высокоточной системой ЧПУ SONYT с интеллектуальным управлением и высокоточным делительным диском 0,0005 мм, обеспечивающим точное позиционирование и надёжную повторяемость. Каждая ось оснащена серводвигателем и прецизионной системой контроля усилия резания, что обеспечивает высокую точность обработки и отличные шлифовальные эффекты. Станок прост в эксплуатации, безопасен и надёжен.
Области применения: Полупроводниковое производство, микроэлектроника, электронная промышленность, обработка кремниевых пластин.В стоимость включены пуско-наладочные работы.